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微型单温区CVD系统管式炉 是一款小型化学气相沉积薄膜类制备设备,该设备在常规产品上进行了一系列的改进,包括:供气系统集成、真空系统集成等。体现出体积小、操作方便、智能化程度高等特点。
单温区PE-CVD系统 高性能射频电源.等离子体更稳定; 滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区.并可实现快速升温和降温功能; 与传统CVD相比较.生长温度更低
TEL:0551-62921227