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单温区PE-CVD系统

简要描述:单温区PE-CVD系统
高性能射频电源.等离子体更稳定;
滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区.并可实现快速升温和降温功能;
与传统CVD相比较.生长温度更低

  • 产品型号:TFE-1200-50-I-220
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-03-29
  • 访  问  量:697

详细介绍

品牌18lUCK体育仪器升温速度(达到最高温)≤10℃/min
内部尺寸Φ80*220mmmm加热方式电阻丝
最大功率3KW控温精度±1℃
最高温度1200℃价格区间面议
仪器种类管式炉产地类别国产
应用领域化工,能源,电子,冶金,综合

单温区PE-CVD系统

高性能射频电源.等离子体更稳定;

滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区.并可实现快速升温和降温功能;

与传统CVD相比较.生长温度更低




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