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简要描述:单温区PE-CVD系统高性能射频电源.等离子体更稳定;滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区.并可实现快速升温和降温功能;与传统CVD相比较.生长温度更低
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炉式设备
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单温区PE-CVD系统
高性能射频电源.等离子体更稳定;
滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区.并可实现快速升温和降温功能;
与传统CVD相比较.生长温度更低
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